東京都市大・白木先生のコラム． Siは原子オーダーでの加工が見えてきた．今までは邪魔者であった「歪」を積極的に利用しようとしている．Geの導入に，ゲート酸化膜はSi酸化膜から他の高誘電体材料へ． Siに異種物質・異種材料を融合することで，新しい時代…